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　　金融界2025年7月25日消息，国家知识产权局信息显示，江苏科麦特科技发展有限公司申请一项名为“一种深紫外光刻用掩模防尘系统及其制造方法”的专利，公开号CN120370636A，申请日期为2025年06月。

　　专利摘要显示，本发明涉及一种深紫外光刻用掩模防尘系统及其制备方法，防尘系统包括框架；包括薄膜，所述薄膜贴合在框架的一侧；包括缓冲橡胶，所述缓冲橡胶贴合在框架的另一侧；所述薄膜包括以重量份数计数组分：含氟二胺10～15份，含氟二酸酐10～15份，纳米二氧化硅0.05～0.2份，含氟成膜助剂0.05～0.1份，溶剂10～30份，酰亚胺化催化剂0.05～0.2份，其制造方法包括步骤S1、制备框架；步骤S2、配制树脂溶液；步骤S3、薄膜贴合；步骤S4、粘接缓冲橡胶，本发明优点在降低薄膜的紫外光的吸收率，增加紫外光透过率，并且没用使用含氟的溶剂，也避免有害气体产生。

　　天眼查资料显示，江苏科麦特科技发展有限公司，成立于2005年，位于无锡市，是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本1195.1077万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏科麦特科技发展有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目13次，财产线条，此外企业还拥有行政许可30个。

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